技術(shù)編號(hào)：6952792
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在進(jìn)行晶片的電氣特性檢查的檢查裝置中所使用的加載器，更具體 說明的話涉及可以適用于收容多個(gè)晶片承載器和收容多個(gè)用劃片框架支承了相同尺寸的 晶片的帶劃片框架的晶片的承載器那樣尺寸不同的承載器。背景技術(shù)作為進(jìn)行在半導(dǎo)體器件工序中制造出的器件的電氣特性檢查的方法，例如有將 形成有多個(gè)器件的晶片提供給檢查裝置、直接以晶片狀態(tài)進(jìn)行各器件的電氣特性檢查的 方法。這種的檢查裝置例如包括加載器室和檢查室，所述加載器室具有以承載器單位收 容晶片且搬送承載器內(nèi)的晶片...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。