技術(shù)編號：6955723
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其涉及一種低 溫多晶硅薄膜晶體管陣列基板的制造方法。背景技術(shù)低溫多晶硅薄膜晶體管(LTPS TFT)陣列基板已經(jīng)普遍地應(yīng)用在平面顯示器上，例 如有源矩陣液晶顯示器(AMLCD)、有源矩陣有機發(fā)光顯示器(AMOLED)等。該類型顯示器一 般是先在基板上沉積非晶硅層(a-Si)，然后通過熱處理使非晶硅熔融結(jié)晶以形成較平滑且 具有晶粒的多晶硅層(P-Si)，接下來利用多晶硅層作為薄膜晶體管(TFT)的溝道層，制作 陣列基板。目前對于LTPS結(jié)晶化技...
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