技術(shù)編號：6957741
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，特別涉及一種應(yīng)用于三維S0C(SyStem on chip，片上集成系統(tǒng))的TFT (薄膜晶體管，thin-film-transistor)及其制造方法。背景技術(shù)隨著信息技術(shù)及半導(dǎo)體技術(shù)的迅猛發(fā)展及廣泛應(yīng)用，集成電路技術(shù)自發(fā)明以來， 一直朝著提高器件系統(tǒng)性能，降低單位功能成本的方向發(fā)展。正如摩爾定律所述，集成電路芯片的大小每1. 5年增加2倍，同時單個基本器件的面積減小到原來的1/2。集成電路的基本器件可以分為有源器件與無源器件。有源...
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