技術編號:6957745
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造,特別涉及一種三維S0C(SyStem on chip,片上集成系統(tǒng))架構及其制造方法。背景技術隨著信息技術及半導體技術的迅猛發(fā)展及廣泛應用,集成電路技術自發(fā)明以來, 一直朝著提高器件系統(tǒng)性能,降低單位功能成本的方向發(fā)展。正如摩爾定律所述,集成電路芯片的大小每1. 5年增加2倍,同時單個基本器件的面積減小到原來的1/2。集成電路的基本器件可以分為有源器件與無源器件。有源器件主要有MOS (金屬-氧化物-半導體)器件、雙極器件及最基本的二...
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