技術(shù)編號(hào):6971975
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制造光學(xué)器件的方法,并且雖然不限于但更加特別的涉及制造集成光學(xué)器件或光電器件,例如諸如激光二極管、光調(diào)制器、光放大器、光開(kāi)關(guān)等的半導(dǎo)體光電器件。本發(fā)明還涉及包括此類(lèi)器件的光電集成電路(OEIC)和光子集成電路(PIC)。背景技術(shù) 量子阱混雜(Quantum Well IntermixingQWI)是一種已被報(bào)道為提供了實(shí)現(xiàn)單片光電集成的可行路線的工藝。QWI可在III/V族半導(dǎo)體材料中進(jìn)行,例如鋁鎵砷(AlGaAs)和銦鎵砷磷(InGaAsP...
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