技術(shù)編號：6973452
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明領(lǐng)域為供物理蒸氣淀積(PVD)之用的濺射靶。背景技術(shù)電子和半導(dǎo)體組件應(yīng)用于數(shù)量日益增加的工業(yè)消費電子產(chǎn)品、通信產(chǎn)品和數(shù)據(jù)交換產(chǎn)品中。若干這些工業(yè)消費產(chǎn)品的例子為電視機、計算機、移動電話、調(diào)度器、掌上型管理器、可攜無線電、汽車立體聲或遙控器。隨著對這些工業(yè)消費電子產(chǎn)品需求的增加，還要求那些同樣的產(chǎn)品變得更小以及更便于消費者和商務(wù)活動攜帶。由于這些產(chǎn)品的尺寸縮小，構(gòu)成該產(chǎn)品的組件也必定變得更小及/或更薄。若干這些尺寸需要縮小或按比例縮小之組件的例子為微電...
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