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      金屬電阻器裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6973473

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      本發(fā)明涉及使用金屬薄膜的電阻器裝置,及制造電阻器裝置的方法,并特別涉及這樣一種金屬薄膜電阻器裝置,由于金屬薄膜隱藏在蝕刻的絕緣層內(nèi),所以該裝置具有最小尺寸及提高的壽命。背景技術(shù) 通常,例如鉑(Pt)、鎳(Ni)和鎢(W)等金屬具有隨溫度變化的電阻,從而用作利用上述金屬溫度電阻特性的熱敏元件。關(guān)于熱敏元件,市場上有采用金屬薄膜以響應(yīng)時間或裝置小型化的熱敏元件裝置。考慮到這個問題,例如金屬薄膜熱敏元件對基體的附著強度,市場上已出現(xiàn)利用氧化鋁基體制造金屬薄膜熱敏...
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