技術(shù)編號：6974483
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用來以晶片的狀態(tài)對形成于晶片上的各個集成電路進行電氣檢查的各向異性導(dǎo)電性連接器及其制造方法，以及具有該各向異性導(dǎo)電性連接器的探針構(gòu)件，更具體而言，本發(fā)明涉及一種各向異性導(dǎo)電性連接器及其制造方法，該連接器適用于對諸如直徑8英寸以上的晶片上共有至少5000個被檢查電極的集成電路進行電氣檢查，以及具有該各向異性導(dǎo)電性連接器的探針構(gòu)件。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體集成電路裝置的制造方法中，在晶片上形成大量的集成電路之后，一般通過檢查這些集成電路的基礎(chǔ)電氣特性而...
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