技術(shù)編號：6976850
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及低壓化學(xué)氣相沉積工藝中的晶片承載工具，尤其涉及SIPOS膜 加工專用的石英舟。背景技術(shù)SIPOS (英文 Semi-Insulate Polycry stalline)石英舟是運(yùn)用在LPCVD 系統(tǒng)(又名低壓化學(xué)氣象沉積)，此系統(tǒng)主要是在裸露的PN結(jié)上長一層SIPOS膜即半絕緣多晶硅膜， SIPOS不僅可以鈍化可動離子，而且對其它界面電荷也有補(bǔ)償或消除作用，也可徹底消 除擊穿電壓需變現(xiàn)象，提高PN結(jié)的擊穿電壓，SIPOS膜具有較高的信賴性，在...
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