技術(shù)編號(hào)：6984716
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種厚膜光刻膠的制備方法，尤其涉及一種基于低溫金屬化技術(shù)的厚膜光刻膠制備方法，屬于微加工。近年來(lái)，隨著微型機(jī)電系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)研究的日益深入，LIGA(德語(yǔ)LITHOGRAPHIE、GALVANOFORMUNG和ABFORMTECHNIK的縮寫(xiě)，分別指光刻、電鍍和模型復(fù)制)技術(shù)也取得了長(zhǎng)足進(jìn)展，在眾多領(lǐng)域得到應(yīng)用，發(fā)揮著獨(dú)特的作用。其優(yōu)勢(shì)在于它的高深寬比微結(jié)構(gòu)加工能力，而高深寬比微結(jié)構(gòu)來(lái)源于厚膜光刻膠的深度光刻，因此，厚膠工藝是LIGA技術(shù)的關(guān)鍵...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。