技術(shù)編號:6986450
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種在液晶顯示器或有機EL顯示器等顯示設(shè)備中使用的Cu合金膜以及具備該Cu合金膜的顯示設(shè)備,詳細地說,涉及一種與玻璃基板等透明基板的密接性等優(yōu)越的Cu合金膜、與薄膜晶體管的半導(dǎo)體層的密接性等優(yōu)越的Cu合金膜以及顯示設(shè)備。背景技術(shù)在以液晶顯示器為代表的顯示設(shè)備的配線中目前為止使用鋁(Al)合金膜。但是,隨著顯示設(shè)備的大型化以及高品質(zhì)化,因配線電阻大所引起的信號延遲以及電力損失的問題變得明顯。因此,作為配線材料,著眼于電阻低于Al的銅(Cu)。Al的...
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