技術編號：6992284
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明關于一種傳送平板狀物的平面多關節(jié)型機器人，特別是關于一種在半導體晶圓、液晶顯示板用透明基板、印刷電路基板等平板狀物的移送、搬運中所使用的機器人。而且，本發(fā)明也關于一種組裝有該平面多關節(jié)型機器人的平板狀物處理系統(tǒng)。背景技術 在將半導體晶圓和液晶基板從傳送用盒取出并交給各種處理裝置，且在那里完成處理后，再次返回盒中等而向下一工程進行移送時，一般使用平面多關節(jié)型機器人。所謂平面關節(jié)(SCARA)型，是取SelectiveCompliance Assembl...
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