技術(shù)編號(hào):6993498
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及微機(jī)電開(kāi)關(guān)(MEMS),更具體地,涉及一種用于改善MEMS的可靠性并且使其具有較低的材料疲勞和機(jī)械故障敏感度的MEMS結(jié)構(gòu)以及制造它的方法。背景技術(shù) 諸如移動(dòng)電話手持機(jī)的各式各樣的通信系統(tǒng)需要開(kāi)關(guān)以便在系統(tǒng)內(nèi)引導(dǎo)信號(hào)流。一個(gè)例子是需要在電話的發(fā)送與接收單元之間轉(zhuǎn)換移動(dòng)電話天線。適當(dāng)?shù)拈_(kāi)關(guān)必須允許射頻(RF)信號(hào)在接通狀態(tài)以低損耗(低接入損耗)通過(guò),而在斷開(kāi)狀態(tài)在端子之間提供良好的隔離。由于微機(jī)電開(kāi)關(guān)在低接入損耗和高度隔離方面的潛能,其已經(jīng)成...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。