技術編號：6996920
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開涉及一種半導體制造裝置，并且更具體而言，涉及一種被構造為容納多個襯底的襯底轉移容器、被構造為監(jiān)視襯底轉移容器的氣體凈化處理的氣體凈化監(jiān)視工具、 以及包括該襯底轉移容器和氣體凈化監(jiān)視工具的半導體制造設備。背景技術半導體晶片是高精度產(chǎn)品，其應該小心存儲和轉移，以防止已以其他方式由外部污染物或物理碰撞造成的污染或損傷。具體地，在存儲或轉移晶片時需要小心看管，以避免由諸如灰塵、濕氣和有機物質的雜質造成的晶片表面污染。為此，在存儲或轉移晶片時，為了保護晶片不被...
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