技術(shù)編號：6999746
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種表面處理裝置，特別涉及半導(dǎo)體表面處理裝置等所采用的溫度控制性優(yōu)異的熱交換器。比如，如圖6(特開平6-172988號公報)所示，濺射裝置的靶的冷卻機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)是，在支承靶101的支承板102的內(nèi)面，形成構(gòu)成冷卻水路的凹部，以覆蓋該凹部的方式，將其機(jī)構(gòu)固定于靶座103上。在支承板的內(nèi)面?zhèn)?，設(shè)置有翼片(fin)104，該翼片104對板進(jìn)行增強(qiáng)，形成冷卻水的水路106，通過下述冷卻水，對靶101進(jìn)行冷卻，該冷卻水從冷卻水入口105供給，通過水路106，...
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