技術編號：7000899
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種雙大馬士革工藝，尤其涉及一種用于超厚頂層金屬的先溝槽金屬硬掩模雙大馬士革工藝。背景技術對于超厚頂層金屬的制造，如果使用傳統(tǒng)先通孔(Via)后溝槽(Trench)雙大馬士革制造工藝，通常溝槽深度達3um或以上，通孔的深寬比超過10 1,目前的刻蝕工藝很難實現(xiàn)。目前業(yè)界常用方法是用單大馬士革工藝分別做頂層通孔和超厚頂層金屬。這解決了通孔高深寬比的問題，但這會增加制造工藝步驟，延長生產(chǎn)周期?，F(xiàn)有技術中的工藝步驟為介電層淀積，其中，介電阻擋層SIN，...
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