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      具有嵌埋于基底中的屏蔽圖案的高品質因子電感器件的制作方法技術資料下載

      技術編號:7004051

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      本發(fā)明涉及一種電感器件。本發(fā)明特別涉及一種用于射頻集成電路的電感器件,具有嵌埋于半導體基底中的屏蔽圖案,可降低儲存于電感器件中的能量損耗,從而增強電感器件的品質因子。背景技術 在射頻集成電路的應用中,不僅需要使用二極管與晶體管等主動器件以及電阻與電容等被動器件,而且需要設置有各種電感器件例如線圈或變壓器。圖1(a)顯示一已知的電感器件10的透視圖。參照圖1(a),已知的電感器件10包括有一半導體基底11、一絕緣層12、以及一導電膜13。絕緣層12沉積于半導...
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