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      一種用于半導(dǎo)體晶片鍵合的鍵合結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):7004581

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      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電子器件與,更具體地涉及一種用于半導(dǎo)體晶片鍵合的鍵合結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)晶片鍵合技術(shù)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的一項(xiàng)前沿技術(shù),由于其突破了晶片外延對(duì)生長(zhǎng)襯底晶格常數(shù)、晶向等特性的嚴(yán)格限制,可以更充分的發(fā)揮器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)人員的創(chuàng)造性,得到廣泛的關(guān)注和研究。目前的晶片鍵合技術(shù)主要有直接鍵合、陽(yáng)極鍵合、介質(zhì)鍵合等,其中介質(zhì)鍵合又有金屬介質(zhì)熔融鍵合和非金屬粘結(jié)鍵合,金屬介質(zhì)熔融鍵合技術(shù)由于金屬介質(zhì)良好的導(dǎo)電性、光反射性、導(dǎo)熱性等得到更多的應(yīng)用。如在發(fā)光二...
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