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      晶圓封裝結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:7007873

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      本發(fā)明涉及一種晶圓封裝結(jié)構(gòu),包括基板,所述基板的一面上設(shè)有溝槽,所述溝槽內(nèi)設(shè)有芯片;形成于所述基板上的封料層,所述封料層表面裸露出芯片的連接部件;形成于所述封料層上的與所述連接部件電連接的布線層;形成與所述布線層上的保護(hù)膜層,所述保護(hù)膜層具有露出所述布線層的開口;形成于所述開口內(nèi)與所述布線層連接的球下金屬層;形成于所述球下金屬層上的金屬球;本發(fā)明提供的晶圓封裝結(jié)構(gòu)可對多個(gè)芯片進(jìn)行封裝,具有較高的集成度和整合度。專利說明晶圓封裝結(jié)構(gòu)[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)...
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