技術(shù)編號(hào)：7012233
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種。該用于單晶硅片的無醇?jí)A性制絨液包括堿溶液和制絨添加劑，制絨添加劑為無醇添加劑。本發(fā)明擯棄了常規(guī)堿性制絨液中所采用的對人體和環(huán)境有害的異丙醇，僅采用堿溶液和無醇添加劑組成的無醇?jí)A性制絨液對金剛石線切割得到的單晶硅片進(jìn)行表面制絨就可以將硅片表面的腐蝕深度較容易地控制在5～7.5μm范圍內(nèi)，同時(shí)保證腐蝕的速率，增強(qiáng)了腐蝕的各向異性，制絨后得到的硅片表面的金字塔織構(gòu)體積小且大小均勻一致，使得硅片表面的反射率降低了1%左右，增加了硅片表面對光的吸收...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。