技術編號：7014455
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了，通過改變氮氣流量和壓力來改善擴散均勻性，有效地控制其爐管內部氣氛場狀態(tài)及摻雜氣體流動速度，從而達到擴散工藝的穩(wěn)定性及重復性，使得整管均勻性及單片均勻性都得到一定改善，從而電性能得到一定改善。專利說明[0001]本發(fā)明涉及，屬于多晶硅太陽能電池領域。背景技術[0002]在太陽能電池領域中，太陽能電池片制備過程已形成標準，主要步驟為制絨(表面織構化和表面化學清理處理)——擴散(形成P N結)——邊緣刻蝕——鍍膜(減反射膜)——絲網(wǎng)印刷——燒結。而...
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