技術編號：7015187
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種氧化物薄膜晶體管及其制備方法、陣列基板及顯示裝置，屬于薄膜晶體管制造，其可解決現(xiàn)有的氧化物薄膜晶體管由于源、漏極材料中的金屬原子與氧化物半導體有源層中的氧離子結合導致氧化物薄膜晶體管的穩(wěn)定性差的問題。本發(fā)明的氧化物薄膜晶體管，其包括基底，依次形成在基底上的柵極、柵極絕緣層、氧化物半導體有源層，以及源、漏極，還包括設于氧化物半導體有源層與源、漏極之間的過渡層，所述過渡層包括金屬層和保護層兩層結構，其中，所述保護層與所述氧化物半導體有源層接觸，所...
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