技術(shù)編號：7019373
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在具有氧化物半導(dǎo)體層作為半導(dǎo)體層的布線結(jié)構(gòu)中有用的技術(shù)，所述布線結(jié)構(gòu)被用于液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置等平板顯示器中。背景技術(shù)作為以液晶顯示裝置等為代表的顯示裝置的布線材料，廣泛使用加工性優(yōu)異、電阻也較低的鋁(Al)合金膜。近來，作為能夠應(yīng)用在顯示裝置的大型化及高畫質(zhì)化的顯示裝置用布線材料，電阻比Al低的銅(Cu)受到注目。Al的電阻率為2.5Χ10_6Ω.cm，與此相對，Cu的電阻率低至1.6Χ10_6Ω.cm。另一方面，作為用于顯示裝置的半...
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