技術編號：7019380
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。平滑的含硅膜 相關申請的交叉引用 本申請要求于2010年9月13日提交的名稱為“ IN-SITU PLASMA-ENHANCEDCHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF FILM STACKS”的美國臨時專利申請序列 N0.61/382，465 ；于2010年9月13日提交的名稱為“SMOOTH SI LANE-BASED FILMS，”的美國臨時專利申請序列 N0.61/382，468 ;于 2010 年 10 月 19 日提交的名稱為...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。