技術(shù)編號(hào):7028798
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種晶圓處理裝置及用于此類處理裝置的加熱組件。具體地,所述晶圓處理裝置中包括具有多個(gè)加熱絲和所述加熱絲的機(jī)械支撐件的加熱元件,所述加熱元件安裝與所述處理裝置中以對(duì)安裝于晶圓承載器上的晶圓進(jìn)行加熱并且使得輻射熱元件可進(jìn)行不受限制的熱膨脹。加熱元件為大致平面形狀。加熱元件的尺寸設(shè)為直徑約為675mm±5%。加熱絲為彎曲性并且大致處于同一平面。各加熱絲的結(jié)構(gòu)設(shè)置為,所述加熱絲跟隨其相鄰加熱絲的結(jié)構(gòu)但不與其相鄰加熱絲發(fā)生接觸。專利說(shuō)明加熱器組件[0001]本實(shí)用新...
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