技術編號：7034885
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路，特別涉及一種凸輪式盤狀物夾持裝置。背景技術在集成電路的生產工藝中，夾緊盤狀物，比如晶片、硅片，是各個生產階段中的重要環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)的方法大都是使用復雜的機械連接來夾緊和移動夾持件。固定夾持件最重要的三個階段包括裝載盤狀物，這時夾持件處于打開狀態(tài)；旋轉盤狀物，這時夾持件處于夾緊盤狀物的狀態(tài)；卸載盤狀物，這時夾持件處于打開狀態(tài)。這種比較傳統(tǒng)的夾持盤狀物的方法通常依靠許多活動部件在卡盤外部接觸盤狀物，但是在卡盤旋轉時會產生許多顆粒，當盤狀物從夾持...
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