技術(shù)編號：7035305
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型提出了一種CD標準片和CDSEM設(shè)備監(jiān)測結(jié)構(gòu)，CD標準片用于監(jiān)測CDSEM設(shè)備的性能，所述CD標準片結(jié)構(gòu)包括具有預(yù)定線寬的待測摻雜條和重摻雜層，所述待測摻雜條形成于所述重摻雜層之上。將重摻雜層和待測摻雜條均重摻雜P元素，使待測摻雜條以及重摻雜層均能夠?qū)щ?，從而使殘留在所述待測重摻雜條的電荷轉(zhuǎn)移至別處，減少對空氣中顆粒的吸附，避免碳積效應(yīng)，提高所述CD標準片的使用壽命，減少更換CD標準片的頻率，降低生產(chǎn)成本。專利說明CD標準片和CDSEM設(shè)備監(jiān)測結(jié)...
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