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      一種基于復合漏極的高壓器件及其制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:7040780

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      本發(fā)明公開了,自下而上依次包括襯底、GaN緩沖層、GaN溝道層、AlN隔離層、本征AlGaN層和AlGaN勢壘層,所述AlGaN勢壘層上間隔設(shè)有源極、柵極和復合漏極,所述柵極和復合漏極之間還設(shè)有線性AlGaN層,線性AlGaN層上設(shè)有p-GaN層,P-GaN層上設(shè)有基極,上述結(jié)構(gòu)的頂層還間隔淀積有鈍化層,所述鈍化層的間隔內(nèi)淀積有加厚電極。本發(fā)明在器件導通時的導通電阻得到減小,而在截止狀態(tài)時的擊穿電壓得到提高,兼顧了器件擊穿電壓的提高與導通電阻的減小。專利說...
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