技術(shù)編號：7045799
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種磷化銦晶片退火盒，包括底座、盛料室、晶片平臺、支撐柱、固定柱和頂蓋。盛料室為底座和晶片平臺之間的腔室，晶片平臺固定在底座上，每個晶片平臺上有多個支撐柱和多個固定柱，支撐柱和固定柱呈發(fā)散式分布，晶片放置于支撐柱上方。通過上述方式，本發(fā)明能解決晶片正反面退火表面形貌不一致，因重力因素導(dǎo)致晶片形變，現(xiàn)有晶片退火盒無固定盛料室等問題，具有很好的電學(xué)均勻性、表面完整性和幾何參數(shù)，實現(xiàn)多片同時退火，提高生產(chǎn)效率等優(yōu)點。專利說明磷化銦晶片退火盒[0001...
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