技術(shù)編號:7045914
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種溝槽型功率晶體管組件及其制作方法,特別涉及一種。背景技術(shù)在功率晶體管組件中,漏極與源極間導(dǎo)通電阻RDS(on)的大小與組件的功率消耗成正比,因此降低導(dǎo)通電阻RDS(on)的大小可減少功率晶體管組件所消耗的功率。于導(dǎo)通電阻RDS(on)中,用于耐壓的外延層所造成的電阻值所占的比例為最高。雖然增加外延層中導(dǎo)電物質(zhì)的摻雜濃度可降低外延層的電阻值,但外延層的作用為用于承受高電壓。若增加摻雜濃度會降低外延層的崩潰電壓,因而降低功率晶體管組件的耐壓能力。...
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