技術(shù)編號：7046315
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出一種硅片晶向檢測方法及檢測裝置。根據(jù)本發(fā)明的一種方法采取攝像裝置（包括光源，一個或多個攝像探頭）在不同角方向旋轉(zhuǎn)照射硅片并獲得相應(yīng)的反射強度，依此為感興趣的晶粒在極坐標(biāo)系中繪制出反射曲線；通過在反射曲線中標(biāo)識出像素亮度極值，來確定晶粒<111>正八面體的三個或更多個面的法向，進而計算出所有正八面體法向量，由此就可計算出感興趣晶粒的晶向。專利說明—種娃片晶向檢測方法及檢測裝置[0001 ] 本發(fā)明涉及硅片晶向的檢測方法及檢測裝置。背景技...
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