技術(shù)編號：7046345
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種彈性微橋式RF?MEMS開關(guān)，包括襯底、位于襯底上的緩沖介質(zhì)層、接地線、共面波導(dǎo)傳輸線、錨點(diǎn)、絕緣介質(zhì)層、彈性折疊梁、上電極，所述接地線、共面波導(dǎo)傳輸線、錨點(diǎn)設(shè)于緩沖介質(zhì)層上，所述絕緣介質(zhì)層覆于所述共面波導(dǎo)傳輸線上，所述上電極分為驅(qū)動電極板和電容上極板，所述驅(qū)動電極板位于所述電容上極板兩側(cè)，所述驅(qū)動電極板和電容上極板之間通過雙直梁連接；所述彈性折疊梁一端與錨點(diǎn)連接，一端與驅(qū)動電極板側(cè)面連接，所述彈性折疊梁彎曲形狀為n形、彎曲個(gè)數(shù)為2個(gè)、套數(shù)為2個(gè)。通過...
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