技術(shù)編號(hào):7047279
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種用于制備太陽(yáng)電池的硅片磷鋁變溫吸雜方法,步驟如下將襯底硅片依次進(jìn)行去損傷層、超聲清洗后,在硅片正反兩面先涂覆磷源,再蒸鍍鋁膜;然后采用氮?dú)鈿夥毡Wo(hù)下熱處理依次進(jìn)行一次吸雜、二次吸雜;冷卻至室溫后,放入氫氟酸和硝酸的混合液中腐蝕以去除吸雜層即可。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是該吸雜方法在磷鋁吸雜基礎(chǔ)上引入變溫工藝,通過(guò)不同溫度對(duì)吸雜的各個(gè)過(guò)程實(shí)現(xiàn)有效控制,充分利用磷吸雜和鋁吸雜各自的優(yōu)勢(shì);工藝簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn),無(wú)需增加其他設(shè)備;吸雜效果明顯,經(jīng)吸雜處理后,硅片少子壽命有明顯...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。