技術(shù)編號(hào)：7047475
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種，其包括向熱的氧化爐爐管內(nèi)通入氮?dú)?；旋轉(zhuǎn)工藝片承載舟，并從原始位置升舟至第一位置；保持旋轉(zhuǎn)工藝片承載舟，對工藝片進(jìn)行主氧化工藝；主氧化工藝完成后，保持旋轉(zhuǎn)工藝片承載舟，從工藝行程位置降舟至原始位置。本發(fā)明通過升舟、降舟和主氧化工藝的過程中保持低速旋轉(zhuǎn)工藝片承載舟，來減小溫度場、氣流場分布不均勻?qū)に嚻赡ぞ鶆蛐缘挠绊懀瑥亩鴥?yōu)化半導(dǎo)體立式爐設(shè)備中工藝片的成膜均勻性，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。專利說明[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造，特別涉及一種提...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。