技術(shù)編號：7051496
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種。具體地說，本發(fā)明涉及一種從用于制備半導(dǎo)體器件的陶瓷制品上既脫除微粒雜質(zhì)又脫除化學(xué)物雜質(zhì)的方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件的制造一般需要使硅片表面經(jīng)受高溫處理例如擴散、氧化和沉積等過程。在沉積過程中，介電材料例如多晶硅、氮化硅和二氧化硅就沉積在硅片的表面上。在擴散過程中，材料擴散進入硅片本體內(nèi)。在氧化過程中，硅片表面氧化，形成薄的二氧化硅層。這些過程一般都是將要處理的硅片放入經(jīng)常稱為“舟”的容器內(nèi)。所述的舟一般由陶瓷材料制成，其形狀能夠或水平或垂直地...
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