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      一種基于銅微針錐同種結(jié)構(gòu)的固態(tài)超聲鍵合方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):7052843

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      本發(fā)明公開(kāi)了,其特征在于,包括步驟如下選擇具有相互匹配的電互連焊盤(pán)的兩個(gè)或多個(gè)待鍵合元件,兩兩形成一待鍵合偶;在待鍵合偶的其中一側(cè)的焊盤(pán)上形成銅微針錐;在待鍵合偶的另一側(cè)的焊盤(pán)上形成相同形貌的銅微針錐;將待鍵合偶的一側(cè)元件吸附在鍵合裝置壓頭表面;將待鍵合偶的兩側(cè)的焊盤(pán)對(duì)準(zhǔn),使兩側(cè)的所述銅微針錐匹配接觸,向待鍵合偶的一側(cè)施加鍵合壓力和超聲振動(dòng)并保持一定時(shí)間,使得兩側(cè)的所述銅微針錐互連鍵合。本發(fā)明的工藝過(guò)程簡(jiǎn)單,無(wú)需加熱及助焊劑,可以避免對(duì)器件產(chǎn)生熱損傷,提高...
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