技術(shù)編號:7052987
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種集成紅外屏蔽結(jié)構(gòu)的太赫茲波室溫探測單元及其制備方法,用于太赫茲波段的高性能探測。所述探測器的頂層是金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)圖形,作為過濾和屏蔽紅外波段的結(jié)構(gòu);第二層為復(fù)合薄膜微橋橋面,其橋面頂部為亞波長結(jié)構(gòu)金屬圖形,作為電磁諧振器,用于吸收特定頻率的太赫茲波;底層為一個厚的金屬層平面,其主要作用為增加電磁波磁場部分諧振吸收,減少透射。本發(fā)明不但具有高的吸收效率,同時對紅外波段噪聲能進(jìn)行有效削弱和抑制,提升探測單元的信噪比,而且具有易集成、陣列化、尺寸小...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。