技術(shù)編號：7053776
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能電池的制造方法及太陽能電池的制造裝置。 背景技術(shù)例如在結(jié)晶硅系的太陽能電池中，在作為光吸收層的硅層中形成有pn結(jié)，在該硅層的表面，形成有用于保護器件或用于防止已經(jīng)入射到光吸收層的光向外部反射的鈍化膜。以往，通過使硅層的表面熱氧化來形成鈍化膜。但是，當(dāng)這樣以高溫對硅層的表面進行了熱氧化時，在以熱氧化形成的鈍化膜和基底的硅層之間的界面中產(chǎn)生大量的空孔缺陷等缺陷。為此，這些缺陷成為電子等載流子的再結(jié)合中心，從而載流子通過再結(jié)合而消失，最終使形成的...
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