技術(shù)編號:7054537
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種能夠不使用切割鋸,而以干式的簡單手法具效果地、且較完美地進行分?jǐn)嗟挠跋窀袦y器用晶圓積層體的分?jǐn)喾椒胺謹(jǐn)嘌b置。本發(fā)明的分?jǐn)喾椒ǎ撚跋窀袦y器用晶圓積層體(W),具有將玻璃晶圓(1)與硅晶圓(2),借由以包圍各光電二極管形成區(qū)域(3)的方式配置的樹脂層(4)貼合而成的構(gòu)造;使刻劃輪(10),沿著玻璃晶圓(1)上面的分?jǐn)囝A(yù)定線按壓、轉(zhuǎn)動而形成刻劃線(S1);使于刃體(25a)前端具有突狀的刃前端(25b)的鉆石刃刀具(25),沿硅晶圓(2)的外...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。