技術(shù)編號：7057362
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了一種，將芯片結(jié)構(gòu)按照不同材質(zhì)等劃分為多個區(qū)域，分別收集多個區(qū)域的灰階分布曲線，再針對影響每個區(qū)域的缺陷類型分別設(shè)定針對各掃描區(qū)域的SAT參數(shù)，從而在對芯片進(jìn)行缺陷掃描時，根據(jù)不同的區(qū)域的灰階分布曲線使用相應(yīng)的SAT參數(shù)組合，避免現(xiàn)有技術(shù)中只使用某個區(qū)域進(jìn)行灰階收集所得灰階分布曲線進(jìn)行SAT參數(shù)設(shè)定影響掃描精度問題，進(jìn)而能夠很好的監(jiān)控形成的產(chǎn)品的良率。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種。 背景技術(shù) [0002]...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。