技術編號：7059178
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。提供了。接合頭包括工具，被配置為固持待接合的工件；加熱器，被配置為加熱待接合的所述工件；以及鄰接所述加熱器的腔室。所述腔室被配置為容納用于冷卻所述加熱器的冷卻流體。專利說明[0001] 相關申請的交叉引用[0002] 本申請要求享有2013年7月2日提交的、美國臨時申請No. 61/842081的權益，其 內容通過引用在此引入。 [0003] 本發(fā)明涉及半導體接合機，并且更特別地涉及應用于用于形成電互連的接合機的 改進型接合頭組件。 背景技術 [...
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