技術(shù)編號：7062089
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種芯片集成的2微米波長微型激光器，包括稀土摻雜氧化硅微環(huán)芯腔和微納光纖，其中微納光纖處于所述氧化硅微環(huán)芯腔的一側(cè)，所述氧化硅微環(huán)芯腔通過如下方法制備得到（1）通過溶膠凝膠法在硅片表面制備稀土摻雜的氧化硅薄膜；（2）在所述氧化硅薄膜表面上用光刻、刻蝕工藝制備出氧化硅微盤腔；（3）利用二氧化碳激光器對所述氧化硅微盤腔進(jìn)行加熱回流處理得到氧化硅微環(huán)芯腔。本發(fā)明的利用溶膠凝膠稀土摻雜方法制備得到的2微米波長微型激光器具有芯片集成、微型化、穩(wěn)定、閾值低...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。