技術編號：7064991
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的三波長鎵氮基半導體激光芯片結(jié)構(gòu)，屬于激光技術應用領域，其與傳統(tǒng)的只能發(fā)射單一波長激光的芯片結(jié)構(gòu)相比，能夠同時發(fā)射三種波長激光。本發(fā)明的三波長鎵氮基半導體激光芯片結(jié)構(gòu)采用重復生長外延層的方法，在藍寶石基底材料上生長一層外延層后，再累積生長兩層同結(jié)構(gòu)不同組分的外延層，然后通過光刻、腐蝕等方法，使一個芯片同時具有三個不同組分的有源區(qū)，成為可以同時發(fā)射出三種不同波長光的激光器，并且三種波長光的電極相互獨立，可單獨調(diào)節(jié)電流大小。本發(fā)明使以藍寶石為基底的激光器...
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