技術(shù)編號(hào)：7074919
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供一種硅片放置裝置，所述硅片放置裝置包括頂部開口的盒體，所述盒體至少包括底板、側(cè)壁和前壁；所述側(cè)壁與所述底板兩側(cè)相連接，兩側(cè)側(cè)壁內(nèi)設(shè)置有多個(gè)一一對(duì)應(yīng)的用于放置硅片的容置槽；所述側(cè)壁外設(shè)有把手；所述前壁與所述底板的前沿對(duì)齊且連接于側(cè)壁間；所述前壁的高度小于側(cè)壁的高度；所述前壁的高度是側(cè)壁高度的1/2～2/3。本實(shí)用新型提供的硅片放置裝置，其前壁的高度小于側(cè)壁的高度，使機(jī)械手不會(huì)碰撞到放置裝置和硅片，確保機(jī)械手的安全距離；其次，在放置裝置的底部加裝...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。