技術(shù)編號(hào):7076141
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供一種晶圓托盤,包括托盤主體及至少三個(gè)升降針;所述升降針包括固定端及活動(dòng)端;所述固定端包括一對(duì)固定于托盤主體通孔側(cè)壁的絕緣部及連接于所述絕緣部內(nèi)側(cè)的一對(duì)第一導(dǎo)電部;所述活動(dòng)端包括與所述第一導(dǎo)電部配合接觸的第二導(dǎo)電部、連接于所述第二導(dǎo)電部上端的絕緣支撐部及連接于所述第二導(dǎo)電部下端的絕緣導(dǎo)向部;所有升降針通過連接于所述第一導(dǎo)電部的導(dǎo)線依次串聯(lián)起來。本實(shí)用新型的晶圓托盤可以在升降針位置正常的情況下實(shí)現(xiàn)測試回路的導(dǎo)通,使用時(shí),可以在每次真空鎖進(jìn)晶圓之前...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。