技術編號：7077647
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種硅片輸送緩沖導軌，它包括支撐平臺（1），支撐平臺（1）的前端設置有支撐座（2），支撐平臺（1）的后端設置有直線電機（3），支撐座（2）的支撐頂板（2.3）以及直線電機（3）的頂部之間架設有行走臂（4），行走臂（4）上開設有兩道行走槽，行走槽內設置有輸送帶，輸送帶通過直線電機（3）帶動。本實用新型硅片輸送緩沖導軌在輸送帶運輸硅片時，硅片不會走偏，避免產生疊片、碎片現象。專利說明硅片輸送緩沖導軌 [0001]本實用新型涉及一種硅片輸送緩...
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