技術編號：7082513
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于生產(chǎn)層壓主體的設備，更具體地涉及用于生產(chǎn)層壓主體的設備的改進，所述層壓主體包括膜狀基材和通過真空沉積聚合沉積在膜狀基材上的至少ー個蒸汽沉積聚合膜。背景技術傳統(tǒng)上，出于多種目的使用包括諸如樹脂膜的膜狀基材和通過真空沉積聚合形成在膜狀基材上的蒸汽沉積聚合膜的層壓主體。例如，層壓主體用作氣體屏障膜，以便防止氧氣或者水蒸汽的滲透，或者用作有機電致發(fā)光単元。此外，近來考慮到使用包括金屬化膜和 金屬化膜上的蒸汽沉積聚合膜的堆疊膜作為薄膜電容器元件。具有多...
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