技術(shù)編號(hào)：7084939
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種濕法刻蝕機(jī)的刻蝕槽，包括工藝槽和溢流槽，工藝槽底部設(shè)有注液管道，溢流槽底部設(shè)有回流管道；工藝槽的數(shù)量為至少兩個(gè)，各工藝槽之間設(shè)置至少一個(gè)溢流槽，刻蝕槽的兩端分別為溢流槽。硅片通過刻蝕槽時(shí)交替通過溢流槽和工藝槽，硅片經(jīng)過工藝槽時(shí)接觸藥液；經(jīng)過溢流槽時(shí)會(huì)沾有部分藥液，然后硅片將經(jīng)過下一個(gè)工藝槽，重復(fù)上述過程，硅片通過刻蝕槽的過程中一直與藥液反應(yīng)?？涛g槽內(nèi)的工藝槽與溢流槽間隔分布，減少了需要注滿藥液的體積，同時(shí)也減少了藥液的揮發(fā)。該刻蝕槽不改...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。