技術(shù)編號：7088571
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種處理溶液槽蓋板滴液的氣盤，包括通氣管、吹吸盤、負壓孔和氣體連接口，所述通氣管、吹吸盤、負壓孔和氣體連接口為一體式結(jié)構(gòu)，所述吹吸盤設(shè)置于通氣管一端下部，所述吹吸盤底部均布設(shè)有若干吹吸孔，所述通氣管另一端為氣體連接口，靠近所述氣體連接口處設(shè)有手柄，所述負壓孔設(shè)置于通氣管中部上端，所述負壓孔的直徑小于氣體連接口的直徑；所述通氣管、負壓孔、氣體連接口及吹吸孔是相通的。本實用新型通過氣盤吹氣或吸氣，保持蓋板干燥、挑揀硅片碎片和調(diào)整硅片之間的間距，...
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