技術(shù)編號:7095750
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種方便操作人員拿取堆疊硅片的硅片取片裝置。該硅片取片裝置,包括底板、左側(cè)板、右側(cè)板、擋板,硅片放置時,硅片的其中一個表面朝向擋板,所述左側(cè)板或右側(cè)板的上端面設(shè)置有氣刀發(fā)生裝置,所述氣刀發(fā)生裝置包括基體,所述基體內(nèi)設(shè)置有一個空腔,所述基體朝向硅片的表面開有與空腔連通的氣刀縫隙,所述氣刀縫隙沿水平方向設(shè)置,所述基體上還設(shè)置有進氣通道,所述進氣通道的一端與空腔連通,另一端連接有壓縮空氣管。在氣刀的作用下,堆疊的硅片被吹散開,操作人員就可以很方便...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。